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半导体制程(支撑)材料

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三氟化氯

更新时间:2020-08-05 点击数:625

半导体材料头.jpg

三氟化氯(ClF3),相对分子量为92.45,是一种腐蚀性、无色有甜味的气体,降温变为绿色液体,即使在低浓度时也有高度刺激性,具有强氧化性。在高温时,三氟化氯能够点燃许多有机化合物和许多金属,遇水产生猛烈反应,水解产生有毒物质。在半导体工业中,三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室,它可以用于从室壁去除半导体材料,而不必拆卸腔室,不需要使用等离子体的激活,腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应。


项目Items

单位Units

指标Index

三氟化氯ClF3

Vol.%

99.9

氧气O2

ppm

20

氮气N2

ppm

50

硫化氢H2S

ppm

700

 

产品用途: 在半导体工业中,三氟化氯可用于清洗化学气相沉积腔室。此外,三氟化氯还可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。        

包装、贮存三氟化氯储存于标准无缝钢瓶中,包装规格有500g,1kg,2kg。具体包装规格可根据用户要求定制更改。三氟化氯储存于阴凉。


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   山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室,能够大批量生产供应高品质氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料规模化生产线,为公司在锂氟化碳一次电池(BR电池)及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

 

      公司成立于2015年,坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内,项目投资15亿元,占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队,平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年,公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目,成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有:特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。


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