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半导体制程(支撑)材料

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六氟化钨

更新时间:2020-08-05 点击数:642

半导体材料头.jpg

      六氟化钨,分子式为WF 6,分子量为297.830,沸点为17.5℃,熔点为2.3℃,室温下是一种无色气体,有强刺激性,有毒,毒性与氟相似。六氟化钨能溶于多数有机溶剂,遇水分解,在空气中被潮气分解而强烈冒烟。其化学性质活泼,几乎能和所有的金属(除金和铂)反应,对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性。在钨的氟化物中,六氟化钨是唯一稳定并被工业化生产的品种,其主要应用领域是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。


产品指标 

项目Items

单位Units

指标Index

指标Index

指标Index

氟化钨Tungsten hexafluoride≥

Vol.%

99.9

99.999

99.9995

四氟化碳Carbon tetrafluorideCF4

Vol.ppm

10

0.5

0.5

氮气NitrogenN2

Vol.ppm

50

1

0.5

+Oxygen+ ArgonO2+Ar)≤

Vol.ppm

50

0.5

0.5

二氧化碳Carbon dioxideCO2

Vol.ppm

-

0.5

0.5

一氧化碳Carbon monoxideCO

Vol.ppm

-

0.5

0.5

氟化硫Sulfur hexafluorideSF6

Vol.ppm

10

0.5

0.5

四氟化硅Silicon tetrafluorideSiF4

Vol.ppm

10

0.5

0.5

氟化氢Hydrogen fluorideHF

Vol.ppm

800

1

1

项目items

单位units

指标index

MolybdenumMo

μg/L

10

IronFe

μg/L

5

KaliumK

μg/L

5

SodiumNa

μg/L

5

ChromiumCr

μg/L

5

ThoriumTh

μg/L

0.1

UraniumU

μg/L

0.05

CobaltCo

μg/L

5

ManganeseMn

μg/L

5

PlumbumPb

μg/L

5

ZincZn

μg/L

5

CalciumCa

μg/L

5

MagnesiumMg

μg/L

5

NickelNi

μg/L

10

CuprumCu

μg/L

5

AluminumAl

μg/L

5

ArsenicAs

μg/L

5

BoronB

μg/L

5

CadmiumCd

μg/L

2

TitaniumTi

μg/L

5

LithiumLi

μg/L

5

SiliciumSi

μg/L

5

PhosphorusP

μg/L

2

 

产品用途

六氟化钨在电子工业中可作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,还可用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。此外,六氟化钨还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。

包装、贮藏

六氟化钨充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为8L44L47L。具体包装规格可根据用户需求定制更改。

六氟化钨储存干阴凉、干燥、通风良好的库房中,远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备。

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   山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室,能够大批量生产供应高品质氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料规模化生产线,为公司在锂氟化碳一次电池(BR电池)及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

 

       公司成立于2015年,坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内,项目投资15亿元,占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队,平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年,公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目,成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。


公司主营业务有:特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。

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