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半导体制程(支撑)材料

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六氟化钼

更新时间:2020-08-05 点击数:438

半导体材料头.jpg

       六氟化钼(MoF6),相对分子量为209.93,熔点为17.5℃,沸点为35℃,低温下为白色块状结晶,对湿空气敏感。在强氧化剂存在下,六氟化钼能侵蚀许多金属(金、铂除外),使金属表面变为蓝色。六氟化钼可用于钼的同位素分离,在电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼,以制作低电阻、高熔点

的互连线和栅极。


产品指标

项目Items

单位Units

指标Indexs

六氟化钼Molybdenum hexafluoride

Vol.%

99.9

99.999

99.9995

四氟化碳Carbon tetrafluorideCF4)≤

Vol.ppm

10

0.5

0.5

氮气NitrogenN2)≤

Vol.ppm

50

1

0.5

(氧+氩)Oxygen+ Argon.O2+Ar)≤

Vol.ppm

50

0.5

0.5

二氧化碳Carbon dioxideCO2)≤

Vol.ppm

-

0.5

0.5

一氧化碳Carbon monoxideCO)≤

Vol.ppm

-

0.5

0.5

六氟化硫Sulfur hexafluorideSF6)≤

Vol.ppm

10

0.5

0.5

四氟化硅Silicon tetrafluorideSiF4)≤

Vol.ppm

10

0.5

0.5

氟化氢Hydrogen fluorideHF)≤

Vol.ppm

800

1

1

 

项目Items

单位Units

指标Index

MolybdenumMo)≤

μg/L

10

IronFe)≤

μg/L

5

KaliumK)≤

μg/L

5

SodiumNa)≤

μg/L

5

ChromiumCr)≤

μg/L

5

ThoriumTh)≤

μg/L

0.1

UraniumU)≤

μg/L

0.05

CobaltCo)≤

μg/L

5

ManganeseMn)≤

μg/L

5

PlumbumPb)≤

μg/L

5

ZincZn)≤

μg/L

5

CalciumCa)≤

μg/L

5

MagnesiumMg)≤

μg/L

5

NickelNi)≤

μg/L

10

 

  产品用途

六氟化钼的主要应用领域是在微电子工业中用化学气相沉积硅化钼或钼,以制作低电阻、高熔点的互连线,也可用作强氟化剂、成膜材料及离子掺杂剂,可用于钼同位素分离。

  包装、贮藏

六氟化钼充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为8L和47L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。

六氟化钼储存干阴凉、干燥、通风良好的库房中,远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备。

    山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室,能够大批量生产供应高品质氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料规模化生产线,为公司在锂氟化碳一次电池(BR电池)及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

 

       公司成立于2015年,坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内,项目投资15亿元,占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队,平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年,公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目,成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有:特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。



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