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半导体制程(支撑)材料

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高纯氟化氢

更新时间:2020-08-05 点击数:409

半导体材料头.jpg

氟化氢(HF),又名氢氟酸,分子量为20.01,为无色透明液体。在空气中发烟,有刺激性气味,能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。氟化氢腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。氟化氢在电子工业等领域有着广泛且重要的应用。电子级氟化氢主要作为清洗剂和蚀刻剂,广泛应用于光伏产业、集成电路和玻璃减薄等行业,是关键辅助材料之一。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

产品指标

项目items

单位units

指标index

氟化氢Hydrogen fluoride(HF)≥

Vol.%

99.999

氮气Nitrogen(N2)≤

Vol.ppm

≤1ppm

(氧+氩)Oxygen+ Argon(O2+Ar)≤

Vol.ppm

≤1ppm

水份Moisture content(H2O)

Vol.ppm

≤1ppm

四氟化硅Silicon tetrafluoride(SiF4)≤

Vol.ppm

≤1ppm

二 氧 化 硫Sulfur dioxide(SO2)≤

Vol.ppm

≤1ppm

二氧化碳Carbon dioxide(CO2)≤

Vol.ppm

≤1ppm

甲烷Methane(CH4)≤

Vol.ppm

≤1ppm

砷Arsenic(As)

μg/L

1

铝Aluminum(Al)

μg/L

1

铬Chromium(Cr)≤

μg/L

1

镉Cadmium(Cd)

μg/L

1

铜Cuprum(Cu)≤

μg/L

1

铅Plumbum(Pb)≤

μg/L

1

铁Iron(Fe)≤

μg/L

1

镍Nickel(Ni)≤

μg/L

1

钠Sodium(Na)≤

μg/L

1

钙Calcium(Ca)≤

μg/L

1

 

产品用途

在集成电路和超大规模电路制造中,氟化氢用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。在玻璃减薄行业中,氟化氢用于液晶显示器玻璃基板的清洗、氮化硅及二氧化硅蚀刻等。超净高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵、氟化铵等配置使用,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。


包装、贮藏

电子级氟化氢充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为44L、47L以及440L Y-瓶等。具体包装规格可根据用户要求定制更改。钢瓶衬里材料为为高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)等。氟化氢储存于阴凉、通风的库房中,远离火种、热源,库温不宜超过30。应与易(可)燃物、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

   山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室,能够大批量生产供应高品质氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料规模化生产线,为公司在锂氟化碳一次电池(BR电池)及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

 

      公司成立于2015年,坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内,项目投资15亿元,占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队,平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年,公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目,成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。

公司主营业务有:特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。


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