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半导体制程(支撑)材料

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二氟化氙

更新时间:2020-08-05 点击数:527

半导体材料头.jpg

       二氟化氙(XeF2),又称二氟代氙,分子量为169.30,是一种无色固体,在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解,在酸性溶液中较为稳定,水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的,具有令人发呕的恶臭。在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体,由于XeF2和硅的化学反应是自发反应,XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性,在XeF2对硅进行腐蚀过程中,XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面,并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4,从而实现对硅的腐蚀。


产品指标

项目Items

单位Units

指标Index

二氟化氙Xenon difluorideXeF2)≥

Vol.%

99.9

KaliumK)≤

mg/kg

0.18

CalciumCa)≤

mg/kg

0.15

SodiumNa)≤

mg/kg

0.70

MagnesiumMg)≤

mg/kg

0.12

AluminumAl)≤

mg/kg

0.17

ZincZn)≤

mg/kg

0.30

IronFe)≤

mg/kg

1.21

PlumbumPb)≤

mg/kg

0.07

CuprumCu)≤

mg/kg

0.05

ChromiumCr)≤

mg/kg

0.15

锰(Mn)≤

mg/kg

0.04

ManganeseMo)≤

mg/kg

0.15

NickelNi)≤

mg/kg

0.83

PhosphorusP)≤

mg/kg

0.14

 

产品用途

二氟化氙是一种选择性很好的氟化试剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用,但其只有在气相和非水溶液中才具有氟化性质,在水溶液中只能起氧化剂的作用。此外,在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体

包装、贮藏

       二氟化氙是一个稳定的化合物,可长期储放于镍制容器或铝合金无缝钢瓶内,包装规格有100g、500g、1kg、2kg和5kg规格,以满足科研院所及生产型企业的不同要求。具体包装规格可根据用户需求定制更改。


      二氟化氙储存于阴凉、通风的库房,应与氧化剂、食用化学品、碱金属分开存放,远离火种、热源。

    山东重山光电材料股份有限公司是重山集团旗下一家集研发、中试、产业化于一体的高新技术企业。是中国化学与物理电源行业协会会员单位及锂电池分会理事单位。公司建有建有氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室,能够大批量生产供应高品质氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料规模化生产线,为公司在锂氟化碳一次电池(BR电池)及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

 

       公司成立于2015年,坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内,项目投资15亿元,占地 200 亩。公司拥有由教授、研究员、高级工程师、工程师、博士后、博士、硕士及本科毕业生为主的近百人研发团队,平均年龄不到35岁。与多家大学、实验室建立研究合作关系。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。2020年,公司“年产多系列锂氟化碳电池1亿只”项目被列为山东省重大建设项目,成为国内一家可批量生产锂氟化碳电池、氟碳材料的厂家。


公司主营业务有:特种功能氟碳材料、新能源电池及材料、半导体制成材料、含氟医药生物材料、稳定同位素材料、特种有机氟材料等。


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