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半导体制程(支撑)材料

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全氟丁二烯

更新时间:2020-08-05 点击数:484

产品介绍 Product introduction 

        全氟丁二烯(C4F6)是一种无色无味且不溶于水的气体。全氟丁二烯熔点为-132.0℃,沸点为5.9℃。全氟丁二烯是一种含有六个氟原子和两个碳碳双键的共轭烯烃,作为一种优异的蚀刻气体,由于其独特的F/C比,与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比,全氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比,可以蚀刻小于100nm 甚至更窄的电子线路。此外,C4F6比C4F8具有更高的对光阻和氮化硅选择比,在使用时可以提高蚀刻的稳定性,提高蚀刻速率和均匀度,从而提高产品优良率。

产品指标 Quality specification



产品用途 Application

        作为刻蚀气用于半导体产品的等离子介质刻蚀。  

包装、贮存 Packaging and storage

        全氟丁二烯充装在钢瓶中,钢瓶型号为B10,尺寸14cm×83cm,内部容积10.1L,毛重14.7kg,有效载荷10kg。具体包装规格可根据用户要求定制更改。


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