产品展示

产品介绍 Product introduction 

        全氟丁二烯(C4F6)是一种无色无味且不溶于水的气体。全氟丁二烯熔点为-132.0℃，沸点为5.9℃。全氟丁二烯是一种含有六个氟原子和两个碳碳双键的共轭烯烃，作为一种优异的蚀刻气体，由于其独特的F/C比，与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比，全氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比，可以蚀刻小于100nm 甚至更窄的电子线路。此外，C4F6比C4F8具有更高的对光阻和氮化硅选择比，在使用时可以提高蚀刻的稳定性，提高蚀刻速率和均匀度，从而提高产品优良率。

产品指标 Quality specification

产品用途 Application

        作为刻蚀气用于半导体产品的等离子介质刻蚀。  

包装、贮存 Packaging and storage

        全氟丁二烯充装在钢瓶中，钢瓶型号为B10，尺寸14cm×83cm，内部容积10.1L，毛重14.7kg，有效载荷10kg。具体包装规格可根据用户要求定制更改。