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半导体制程(支撑)材料

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八氟丙烷

更新时间:2020-08-06 点击数:519

产品介绍 Product introduction 

        八氟丙烷(C3F8)是一种无色、无味、不可燃的惰性气体。八氟丙烷熔点为-183.0℃,沸点为-36.7℃,难溶于水。电子级高纯八氟丙烷应用在半导体器件制造过程中,与氧气的混合气可用作等离子蚀刻气体。

产品指标 Quality specification


产品介绍 Product introduction 

        八氟丙烷(C3F8)是一种无色、无味、不可燃的惰性气体。八氟丙烷熔点为-183.0℃,沸点为-36.7℃,难溶于水。电子级高纯八氟丙烷应用在半导体器件制造过程中,与氧气的混合气可用作等离子蚀刻气体。

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