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半导体制程(支撑)材料

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六氟乙烷

更新时间:2020-08-06 点击数:516

产品介绍 Product introduction 

        六氟乙烷(C2F6),又称全氟乙烷,是一种无色、无味、不可燃的惰性气体。六氟乙烷熔点为-100.6℃,沸点为-78.2℃,微溶于水。六氟乙烷作为干腐蚀剂具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精确性的优点,可以极好地满足线宽较小的制程要求,被广泛应用于半导体制作过程中。

产品指标 Quality specification


产品用途 Application

        电子级高纯六氟乙烷主要在半导体器件制造过程中,作为蚀刻剂、化学气相沉积(CVD)后的腔体清洗剂等使用,同时也可作为高介电强度制冷剂和电气设备的气体绝缘介质使用。        

包装、贮存 Packaging and storage

        六氟乙烷充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中,气瓶容积分别为4L、8L、10L、12.5L、40L等。具体包装规格可根据用户需求定制更改。    


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